英诺激光:关注国内半导体行业发展趋势,已在硅晶圆前道检测环节开展合作

有投资者提问:看到上海微电子官微发布,上海微电子28nm精度光刻机已经通过技术认证,并在光源技术方面与英诺激光展开合作,是否属实?对此,英诺激光在互动平台回复,公司在半导体领域与国外客户开展了深度合作,并已批量供应了应用于碳化硅退火制程的激光器,积累了丰富的行业经验。英诺激光时刻关注国内半导体行业发展趋势,已在硅晶圆前道检测环节开展合作。

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